一種低壓化學氣相沉積的製程，用於半導體元件的電晶體成形過程的元素之一，例如作為阻障層與蝕刻中止層的介電材料。特點是：高溫自蔓燃法生?，效率高、成本低、質量穩定可靠，可大批量生?；用於高級耐火原料、冶金保護渣原料、機械刀具原料、特種磨料。