電子/半導體

蒸鍍　Evaporation。

主要的物理氣相沈積技術的一種。藉著對被蒸鍍物體加熱，利用被蒸鍍物在高溫（接近其鎔點）時所具備的飽和蒸氣壓，來進行薄膜的沈積的。