電子/半導體
Crucible 坩堝。

係指在晶圓成長結晶之際,將原料加以熔解,保溫,促使成長結晶的容器。就容器材質而言,不希望融液與晶圓發生反應,雜物含有量應盡量越少越好。

目前,矽晶成長使用石英玻璃坩堝;就化合物半導體用而言,其形狀雖以單純一層者為主,但有關連續補充CZ法或二層坩堝法則使用二層坩堝,具有內層坩堝和外層坩堝之二層構造,內層坩堝之側面開洞,由外層坩堝供給原料,結晶由內層坩堝上拉。此外,石英玻璃因在矽融點附近之高溫會變形,其外側亦使用保持用墨鉛坩堝。








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