電子/半導體

Float polishing　浮動拋光。

將研磨液倒入加工槽中，直到能淹蓋被加工物表面之水面，然後將設有槽溝之轉盤和被加工物高速旋轉，依據流入兩者間研磨液之動壓流體潤滑，被加工物並不和轉盤接觸，而在浮動狀態下進行研磨之方法。