電子/半導體

Gettering　吸氣。除氣。

指去除會造成元件特性不良影響的雜質、重金屬，或去除和缺陷相關之點缺陷等的作用。經過此作用後，可將晶圓表面的元件形成領域，如同元件形成時加以潔淨化或無缺陷化，提升元件特性或元件製造之合格率。