MoneyDJ新聞 2021-05-14 14:29:47 記者 郭妍希 報導

荷蘭半導體設備業龍頭艾司摩爾(ASML Holding NV)生產的極紫外光(EUV)微影設備，對於晶圓代工大廠的先進製程至關重要。南韓政府宣布，ASML計畫赴南韓打造EUV再製(remanufacturing)廠以及訓練中心。

BusinessKorea、韓國經濟日報14日報導，南韓產業通商資源部(The Ministry of Trade, Industry and Energy, MOTIE)13日宣布，ASML未來四年將在南韓投資2,400億韓圜(2.1億美元)，於京畿道華城市打造EUV微影設備聚落，當中包括一座再製廠房、一家訓練中心。

ASML是全球唯一一家EUV微影設備供應商，是5奈米先進製程的關鍵設備。MOTIE及京畿道政府將針對ASML的授權、擴張當地業務事宜提供協助。上述設施預計2025年底前落成，未來將在南韓聘用超過300名專才。

報導稱，ASML位於南韓的再製造中心(re-manufacturing center)，主要業務包括系統零件翻修和EUV集光鏡(collector)清洗作業。

ASML一年只能生產30台EUV微影設備。據聞，台積電已取得50台EUV設備，三星僅有10台。

半導體蝕刻機台製造商科林研發公司(Lam Research Corp.)也將擴大投資南韓。報導引述業界消息指出，科林已將南韓的生產目標提高一倍，正在尋找地點建立新廠以便擴充產能。

三星電子4月中曾傳出，內部高層已親自出馬，前往美國、荷蘭向供應商爭取關鍵的半導體製造設備。三星高層親訪半導體設備廠，希望業者穩定供應所需，引起業界矚目。人們相信，這是業界掀起半導體設備爭奪戰之際，三星爭取貨源的策略之一。

韓媒etnews 4月12日引述業界消息報導，想要打造半導體生產線，一定要設法取得前端製程的關鍵設備。應材、科林、東京威力科創(TEL)及ASML是全球前四大半導體設備業者，合併市佔高達60-70%。問題是，半導體設備廠每年只能生產一定數量的機台，交貨時程早已非常緊湊。

值得注意的是，部分關鍵設備的交貨時間延長至12個月以上，晶片製造商、封裝測試服務廠以及IC基板供應商的產能擴充計畫也都遭到拖累。業界消息稱，至少有四種關鍵生產設備面臨短缺困境，主要是因為晶片短缺、疫情封城引發人力問題的關係。

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